Hochgenaue MEMS-Inertialsensoren mit hervorragender Auflösung

Hochgenaue MEMS-Inertialsensoren mit hervorragender Auflösung von First Sensor AG

Von: First Sensor AG  03.12.2014
Keywords: Sensoren, Mems, Inertialsensoren

First Sensor präsentiert eine neue Technologieplattform zur Herstellung hochgenauer Inertialsensoren zur Messung von Neigung, Beschleunigung und Vibration. Die kapazitiven Sensoren basieren auf einkristallinen Silizium-Sensorelementen und neusten mikromechanischen Herstellungsverfahren. Die MEMS-Sensoren erreichen ein sehr hohes Signal-Rausch-Verhältnis sowie eine hervorragende Temperaturstabilität und erkennen schon kleinste Lage- oder Beschleunigungsänderungen. Die Mikrostrukturen mit großem Aspektverhältnis (HARMS) gewährleisten geringste Querempfindlichkeiten. Zusätzlich minimiert die patentierte AIM-Technologie (Air gap Insulated Microstructures) parasitäre Kapazitäten. First Sensors hochgenaue Inertialsensoren bieten überlegene Leistungsmerkmale und ein hervorragendes Preis-Leistungs-Verhältnis im Vergleich zu existierenden Lösungen. Die Neigungssensoren mit Messbereichen von ±30 ° erreichen eine Rauschdichte kleiner 0,0004 °/√Hz und Auflösungen kleiner 0,0015 ° bei einer Messfrequenz von 10 Hz. Die Beschleunigungssensoren bieten Messbereiche von ±8 g und ±15 g und erreichen eine Rauschdichte kleiner 30 µg/√Hz und Auflösungen kleiner 95 µg bei einer Messfrequenz von 10 Hz. Alle MEMS-Inertialsensoren können auf Grund der modularen Technologie flexibel und kostengünstig an kundenspezifische Anforderungen angepasst werden. Das kapazitive Sensorelement und die ASIC-Signalverarbeitung sind in ein hermetisch abgeschlossenes SMD-Gehäuse für die platzsparende Leiterplattenmontage integriert. Zusätzlich stehen verschiedene Entwicklungsplatinen für die einfache und schnelle Auswertung der Sensorsignale zur Verfügung. Die wichtigsten Merkmale der neuen Inertialsensoren: • Neueste mikromechanische Herstellungsverfahren (HARMS, AIM) • Sehr hohes Signal-Rausch-Verhältnis • Hervorragende Temperaturstabilität • Flexible kundenspezifische Anpassungen First Sensors Neigungs- und Beschleunigungssensoren kommen in der Industrie, Gebäudetechnik, Luftfahrt und Medizintechnik zum Einsatz. Typische Anwendungen sind Geo-Engineering, Zustandsüberwachung, Navigation, Robotik sowie Systeme zur Ausrichtung, Positionierung und Nivellierung.

Keywords: Inertialsensoren, Mems, Sensoren,

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