Vakuumlager

Von: ess Mikromechanik GmbH  24.05.2011
Keywords: Luftgelagerte Systeme, Rotationslager, Vakuumlager,

Mit dem neu entwickelten Rotationsluftlager der Baureihe DLVL ist esgelungen, höchste Ablaufgenauigkeiten, kleinste Positionierschritte bei größtmöglicher Belastungsfähigkeit im Ultrahochvakuum zu kombinieren. So ist es möglich, ein auf dem Luftlager in einer Vakuumkammer ontiertes Objekt mit einer blaufgenauigkeit von wenigen Nanometern rotieren zu lassen oder es auf Bruchteile von Winkelsekunden genau zu positionieren.

Durch ein spezielles Luftzuführung– bzw. Ableitungssystem wird verhindert, dass die zum Betrieb des Luftlagers notwendige Druckluft in die Vakuumkammer gelangen kann.

Keywords: Luftgelagerte Systeme, Rotationslager, Vakuumlager,

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