Geräteserie zur Prüfung und Validierung von Reinräumen

Geräteserie zur Prüfung und Validierung von Reinräumen von TOPAS GmbH Technologie-orientierte Partikel-, Analysen- und

Von: TOPAS GmbH Technologie-orientierte Partikel-, Analysen- und  05.03.2012
Keywords: Filter, Messgeräte, Vernebler

Ein wichtiges Anwendungsgebiet für die Aerosol- und Partikeltechnik ist die Prüfung und Validierung reinraumtechnischer Anlagen. Derartige Reinraumkonzepte dienen der Gewährleistung sicherer Arbeitsumgebungen und hoher Produktqualitäten. Deshalb müssen diese Anlagen regelmäßig auf ihre Funktionstüchtigkeit geprüft werden. Neben der notwendigen Sachkenntnis benötigt der Prüfer eine entsprechende Gerätetechnik, die den einschlägigen Normen und Richtlinien entspricht. Diese Prüftechnik beinhaltet gemäß der ISO 14644 einen Aerosolgenerator zur Beaufschlagung des Prüfaerosols, ein Verdünnungssystem, einen Partikelzähler sowie eine isokinetische Probenahmesonde. Der Topas Aerosolgenerator ATM 226 wurde speziell für Abnahmemessungen entwickelt. Er zeichnet sich durch eine äußerst zeitstabile Aerosolerzeugung aus. Für DEHS, DOP und PAO werden Partikel im Größenbereich von 0,1 … 0,4 µm generiert. Die einstellbare Partikelproduktionsrate des ATM 226 ist für die Prüfung reinraumtechnischer Anlagen mit Filterflächen von 0,09...10 m2 geeignet. Das Verdünnungssystem DIL 554 dient zur gezielten und reproduzierbaren rohgasseitigen Verdünnung des Testaerosols, um es auch mit einem Reinraum - Partikelzähler zu messen. Bei dem nach einem geschlossenen Prinzip arbeitenden Verdünner ist eine Zuführung zusätzlicher Druckluft als Verdünnungsmedium nicht notwendig. Damit fällt auch kein partikelbeladener Abluftstrom an, was für reinraumtechnische Abnahmemessungen entscheidend ist. Die Verdünnungssysteme wie auch die Aerosolgeneratoren entsprechen den in den Normen VDI 3491 und VDI 2083 aufgeführten Anforderungen. Als Partikelzähler kann für die Abnahmemessungen der von Topas angebotene LAP 340 eingesetzt werden, aber auch andere kommerziell verfügbare Partikelzähler. Die Verdünnungssysteme der Serie DIL 554 sind sowohl als Version für 28,3 bzw. 56,6 l/min lieferbar. Alle Geräte sind mit einem Edelstahlgehäuse ausgestattet. Für den Filter-Integritätstest sowie zum Auffinden von Filterlecks wird die Verwendung rechteckiger Probenahmesonden empfohlen. Diese gewährleisten gegenüber runden Sonden insbesondere im Randbereich eine exaktere Probenahme und verkürzen geometriebedingt die Abscandauer deutlich. Mit der Software zur Reinraumqualifizierung CRQWin entwickelte Topas speziell für Qualifizierungs-Messungen ein Programm, welches die strukturierte Erfassung, Speicherung, Darstellung, Archivierung und Auswertung aller zur Reinraumklassifizierung benötigten Angaben und Messwerte ermöglicht.

Keywords: Aerosolkonzentration, Aerosolverdünner, Anzahlkonzentration, Atomizer, Filter, Flüssigkeitsvernebler, Hepa-filter, Messgeräte, Partikelgrößenmessgerät, Partikeltechnik, Reinraumabnahme, Reinraumqualifizierung, Reinraumvalidierung, ULPA-Filter, Verdünnungsfaktor, Verdünnungsverhältnis, Vernebler,

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